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真空分子泵是使機械真空泵在抽氣機理上有了新的突破。分子泵的抽氣機理與容積式機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同，分子泵是在分子流區(qū)域內(nèi)靠高速運動的剛體表面?zhèn)鬟f給氣體分子以動量，使氣體分子在剛體表面的運動方向上產(chǎn)生定向流動，從而達到抽氣的目的。通常把用高速運動的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運動的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象。因此，人們將蓋德發(fā)明的分子泵稱為牽引分子泵。
真空分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同，利用了動量傳遞原理，使分子定向流動而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。因其工作穩(wěn)定可靠，在分子流態(tài)下具有很好的抽氣效率，已經(jīng)成為清潔高真空、超高真空應用領域的主流獲得設備，在科學儀器、工業(yè)生產(chǎn)設備中得到廣泛應用。真空分子泵性能特點體積小、重量輕、噪音低；極限真空度高；設有氣鎮(zhèn)閥，可抽除少量水蒸氣；內(nèi)裝強制進油，潤滑充分，性能可靠；保持進氣壓強為1.33×10Pa時仍可連續(xù)運轉；不漏油、不噴油、不污染工作環(huán)境,排氣裝置有專配油霧收集器；可以配備小口徑轉換接頭和國際標準的KF接口。
真空分子泵維修廣泛應用在航天、航空、原子、石油、化工、制藥、電工、陶瓷、冶煉、新材料、真空熱處理、真空鍍膜等行業(yè)。滑閥真空機組具有顯著的節(jié)能效果，真空度高，高真空區(qū)間抽氣量大，可廣泛應用于電力工業(yè)的變壓器、電線電纜、電容器的真空浸漬、真空干燥工藝中。是真空鍍膜、真空冶煉、真空熱處理、真空濾油、冷凍干燥；航空模擬試驗較理想的真空設備。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉塵的氣體，應加裝過濾裝置。
