真空泵能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量

真空分子泵常用的真空泵有旋片真空泵、羅茨泵、干泵、分子泵和冷泵等。擴(kuò)散泵已經(jīng)很少使用。旋片真空泵可以接上N2氣鎮(zhèn),防止被抽氣體在泵油中凝結(jié);接過(guò)濾器,過(guò)濾泵油中的雜質(zhì);接油霧過(guò)濾器和自動(dòng)回油裝置,減少油的損耗。旋片真空泵分成普通型和防腐型，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12Pa以上的極高真空范圍。

真空分子泵維修對(duì)真空泵進(jìn)行以下這些分類(lèi)：動(dòng)量傳輸泵（分子真空泵）依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹?。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型，即變?nèi)菡婵毡煤蛣?dòng)量傳輸泵。變?nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期變化來(lái)完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。變?nèi)菡婵毡糜址譃椋和鶑?fù)式，旋轉(zhuǎn)式（旋片式、滑閥式、液環(huán)式、羅茨式、螺旋式、爪形轉(zhuǎn)子式），其它型式。

真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油泵。真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。