分子泵維修常見問題

分子泵的基本結(jié)構(gòu)基本定型為臥式和立式兩種。臥式分子泵具有抽氣時轉(zhuǎn)子受力均勻，軸承定位受力狀態(tài)好，使用壽命長，軸承更換過程中轉(zhuǎn)子位置不動，維修方便等特點(diǎn)。立式分子泵的裝配工藝要比臥式分子泵簡單，所以近些年立式分子泵的發(fā)展速度很快，分子泵誕生至今，已有近百年的歷史，隨著各項科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步，分子泵技術(shù)也取得了許多創(chuàng)新與突破，現(xiàn)代分子泵更是朝著智能、靈活、高效的方向發(fā)展，分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進(jìn)行動量傳遞，提高泵的抽氣效果。

分子泵維修常見問題分子泵為何會發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象？原因是附近有光照或其他熱源解決方法：避免光照或熱源，分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑，請問油為什么發(fā)黑？或者多長時間油才會變黑？原因：冷卻不良，負(fù)載太大解決方法：檢查冷卻系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng)分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請問該現(xiàn)象如何解釋？原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不夠解決方法：檢查系統(tǒng)，分子泵葉片破碎的原因：是異物掉入;沒有安裝過濾網(wǎng)肯定不行的，另外掉進(jìn)去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設(shè)備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側(cè)面90度或倒立安裝，避免異物掉入。電壓的不穩(wěn)定，特別對磁浮類的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出，真空達(dá)到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流高，分子泵溫度升高等。

分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。半導(dǎo)體的各種生產(chǎn)工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行，因此對真空系統(tǒng)和真空設(shè)備的潔凈度也有著很高的要求。