分子泵可以運(yùn)用在半導(dǎo)體設(shè)備中

分子泵的發(fā)展歷程早期的分子泵均為牽引式分子泵，這種泵的體積大，抽速小，間隙小，故障多，應(yīng)用時(shí)受到很多限制，所以只能在一些特殊領(lǐng)域使用，未能普及，從分子泵誕生至今，已有近百年的歷史，隨著各項(xiàng)科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步，分子泵技術(shù)也取得了許多創(chuàng)新與突破，現(xiàn)代分子泵更是朝著智能、靈活、高效的方向發(fā)展，近些年隨著控制理論與計(jì)算機(jī)技術(shù)的飛速發(fā)展并應(yīng)用于分子泵上，使分子泵實(shí)現(xiàn)了電腦控制，從而實(shí)現(xiàn)了遠(yuǎn)距離控制泵的起動(dòng)、停車及調(diào)速，同時(shí)基于信息技術(shù)可建立完善的安全及監(jiān)控系統(tǒng)，使分子泵朝向智能化方向發(fā)展。

渦輪分子泵是通過高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合實(shí)現(xiàn)氣體的抽取，獲得超高真空的一種機(jī)械真空泵。渦輪分子泵是在分子流動(dòng)狀態(tài)下，利用機(jī)械動(dòng)能氣體使分子直接壓縮并流動(dòng)的真空泵。分子泵是獲得清潔真空環(huán)境的理想選擇。由于渦輪分子泵在某些情況下優(yōu)于低溫泵、離子泵和擴(kuò)散泵，因此，一般情況下選擇渦輪分子泵。渦輪分子泵是高或超高真空泵，主要由轉(zhuǎn)子和定子兩個(gè)部分組成。一個(gè)旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子盤和一個(gè)靜止的定子盤組成了一個(gè)泵級(jí)，泵級(jí)產(chǎn)生一個(gè)特定的壓縮比。通過連續(xù)開啟增加壓縮效果的多個(gè)泵級(jí)，可以獲得高達(dá)1013的壓縮比。例如，現(xiàn)代真空泵在后側(cè)使用霍爾維克級(jí)（Holweck），減少了渦輪級(jí)的數(shù)量而不影響壓縮效果。與此同時(shí)，一些生產(chǎn)商可能將允許的前級(jí)管道壓力增加至30hPa以上，極大減小了前級(jí)泵的尺寸，并可首次使用隔膜泵。

分子泵在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造工藝中，分子泵廣泛應(yīng)用于光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備、離子注入機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備。