分子泵是一種常見的真空和超高真空的設(shè)備

分子泵機(jī)組選用旋片泵、渦旋泵、干泵等作為前級(jí)預(yù)抽泵，分子泵運(yùn)行后能迅速使密閉空間獲得高真空，分子泵應(yīng)用于高真空和超高真空度范圍(約10-8-10-1Pa)。分子泵作為高、超高真空泵種無(wú)法在大氣壓強(qiáng)下直接使用，其正常工作需要一定的啟動(dòng)壓強(qiáng)(分子泵啟動(dòng)壓強(qiáng)一般為0.1-100Pa)，通常使用時(shí)需要連接低真空泵種作為前級(jí)預(yù)抽真空泵。分子泵機(jī)組是以分子泵為主泵，以旋片泵、渦旋泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的組合真空設(shè)備，分子泵是基于動(dòng)量傳遞原理，在變頻電源驅(qū)動(dòng)電機(jī)的帶動(dòng)下高速旋轉(zhuǎn)，在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片表面碰撞，動(dòng)量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。分子泵屬于動(dòng)量真空泵，是通過(guò)使分子定向流動(dòng)而被排出泵外。

分子泵維修主要在前級(jí)泵實(shí)現(xiàn)啟動(dòng)壓強(qiáng)后才進(jìn)行抽氣，與低真空泵配合進(jìn)行使用，應(yīng)用于表面物理和質(zhì)譜類科研儀器，離子注入和刻蝕等半導(dǎo)體前道工藝裝備，ITO、AR、AF和Low-E等工業(yè)過(guò)程，空間環(huán)境模擬、高能物理、低溫超導(dǎo)等領(lǐng)域，分子泵大致可分為油潤(rùn)滑分子泵、脂潤(rùn)滑分子泵及磁懸浮分子泵三類，磁懸浮分子泵是利用磁力作用將轉(zhuǎn)子懸浮于空中使轉(zhuǎn)子和定子無(wú)接觸運(yùn)轉(zhuǎn)，與油潤(rùn)滑和脂潤(rùn)滑分子泵不同，具備可實(shí)現(xiàn)完全無(wú)油化、軸承的壽命長(zhǎng)、轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速高、振動(dòng)與噪音低、安全性高、可任意角度安裝等產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)，是現(xiàn)階段分子泵技術(shù)及產(chǎn)品創(chuàng)新的主要方向。

分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的統(tǒng)稱，是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設(shè)備。分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，支撐轉(zhuǎn)子平滑轉(zhuǎn)動(dòng)的軸承承擔(dān)了很大的負(fù)荷，正確的使用和及時(shí)的保養(yǎng)，對(duì)分子泵軸承乃至整個(gè)分子泵的正常工作意義重大。