真空分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的統(tǒng)稱,是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設(shè)備。分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子,支撐轉(zhuǎn)子平滑轉(zhuǎn)動(dòng)的軸承承擔(dān)了很大的負(fù)荷,正確的使用和及時(shí)的保養(yǎng),對(duì)分子泵軸承乃至整個(gè)分子泵的正常工作意義重大。另外,分子泵在加速時(shí)功率較大,內(nèi)部發(fā)熱比較嚴(yán)重,頻繁的啟停(兩次啟動(dòng)間隔<30分鐘)會(huì)造成熱量累積,使分子泵內(nèi)部的溫度過高,加劇軸承磨損,真空分子泵在勻速工作時(shí),轉(zhuǎn)子葉片僅受到離心力的作用(真空下阻力很小可以忽略不計(jì)),即遠(yuǎn)離軸心的方向的拉力;而在加速和減速的時(shí)候,葉片還受到轉(zhuǎn)動(dòng)切線方向的力,相當(dāng)于對(duì)葉片進(jìn)行彎折的力。顯而易見,對(duì)葉片進(jìn)行彎折對(duì)其疲勞壽命的貢獻(xiàn)更大。
真空分子泵特點(diǎn):脂潤(rùn)滑分子泵:油脂量極小,前級(jí)配干泵可獲得近似無油的清潔真空,全磁懸浮分子泵:無須潤(rùn)滑,與干泵一起使用,可獲得無油的清潔真空環(huán)境,油潤(rùn)滑分子泵:潤(rùn)滑油量小,且在前級(jí)真空段,對(duì)真空室污染小,真空分子泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè),按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。
分子真空泵:它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式:牽引分子泵:氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得力量,被送到出口,因此,是一種動(dòng)量傳輸泵。渦輪分子泵:泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子,它在定子圓盤(或定片)間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。復(fù)合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)起來的一種復(fù)合式分子真空泵。