分子泵產(chǎn)品是集成電路制造裝備的關(guān)鍵核心零部件

分子泵在電機的帶動下高速旋轉(zhuǎn)，采用變頻電源驅(qū)動電機，目的是得到較高的轉(zhuǎn)速。在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)動的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運動方向上，產(chǎn)生定向流動而被排出泵外，從而達到抽氣的目的，分子泵在電機的帶動下高速旋轉(zhuǎn)，采用變頻電源驅(qū)動電機，目的是得到較高的轉(zhuǎn)速。在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)動的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運動方向上，產(chǎn)生定向流動而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。

渦輪分子泵內(nèi)有多組相間動輪葉和定輪葉，每一個輪葉上有許多按一定角度斜置的葉片，如圖5-14所示。實際的渦輪分子泵都是由多級葉列串聯(lián)組成，即按動片、定片、動片等依次交替排列，動葉片轉(zhuǎn)動時又類似于電風(fēng)扇葉片的作用，能將氣體從一側(cè)抽到另一側(cè)。提高分子泵的轉(zhuǎn)速，有利于提高分子泵的抽速。由于葉片轉(zhuǎn)速限制，如果氣體分子運動速度較大，泵抽真空就比較困難，渦輪分子泵也是一種機械式真空泵，通過高速旋轉(zhuǎn)的多級渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止葉片的組合進行抽氣的，在分子流區(qū)域內(nèi)對被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵極限真空比擴散泵高，可達10-8 pa，分子泵機組比羅茨泵機組抽氣速率大，真空度高近一個數(shù)量級。而且相較而言，分子泵機組的噪音更小，占地面積更小。

分子泵產(chǎn)品是集成電路制造裝備的關(guān)鍵核心零部件，為工藝刻蝕、離子注入、薄膜沉積等半導(dǎo)體制造關(guān)鍵工藝過程提供所需的高潔凈度超高真空環(huán)境。由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈價值較高，對其生產(chǎn)工藝中的各項裝備可靠性要求極其嚴苛。磁懸浮分子泵作為關(guān)鍵核心零部件，不僅需滿足半導(dǎo)體制造裝備的各項工藝技術(shù)指標(biāo)，還需要滿足其苛刻的安全性、可靠性要求。