啟動分子泵條件有哪些

分子泵啟動的條件：啟動條件：連接無誤、無漏、冷卻、潤滑、真空度啟動時間：同時啟動——小系統(tǒng)，防前級泵油上返。延遲啟動——系統(tǒng)容積過大,先啟動前級泵，至系統(tǒng)壓強(qiáng)P=200Pa時，啟動分子泵，真空技術(shù)出現(xiàn)在許多高科技應(yīng)用中，例如半導(dǎo)體加工、質(zhì)譜儀和材料加工。這種技術(shù)利用真空泵從密閉的真空室中抽出空氣分子，從而創(chuàng)造出一個低壓環(huán)境。渦輪分子泵屬于真空泵的一種，它由葉片狀渦輪構(gòu)成?，F(xiàn)代渦輪分子泵的葉片旋轉(zhuǎn)速度極快，高達(dá)90,000rpm，泵使用了由多個圓盤和不同類型的葉片構(gòu)成的多葉片結(jié)構(gòu)。靠近入口的葉片抽氣速度快，壓縮比小，而靠近出口的葉片具有相反的特性。

分子泵具有提供超清潔、無碳?xì)浠衔锏恼婵窄h(huán)境的能力，故常被用戶選用。然而，用戶也偶爾會發(fā)現(xiàn)渦輪分子泵提供不了不含碳?xì)浠衔锏恼婵窄h(huán)境。經(jīng)調(diào)查發(fā)現(xiàn)碳?xì)浠衔锏膩碓矗?0%是操作失誤所帶來的問題，如渦輪分子泵的前級泵為油封式旋片泵時，沒有控制返流的安全閥，不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流，不合要求的安全閥也會引起油污染。

分子泵關(guān)閉或運轉(zhuǎn)極慢時，泵將不再有足夠大的壓縮比（泵內(nèi)壓力梯度）來阻止前級側(cè)存在的碳?xì)浠衔锿ㄟ^渦輪葉片向真空室進(jìn)行返流。這種現(xiàn)象稱作反擴(kuò)散或分子返流。在靜態(tài)條件下，整個系統(tǒng)的壓力均衡時，在前級管道側(cè)，油的分壓力通常為10-4～10-6Torr（或13.33mPa～133.3μPa）然后也會波及到泵的入口處。當(dāng)泵關(guān)閉時，適當(dāng)?shù)亟o泵內(nèi)充氣是控制油分子返流，保持真空室內(nèi)無碳?xì)浠衔锏囊环N有效的措施。