使用分子泵時要注意什么

分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵的總稱。它是一種非常常見的設備，可以獲得高真空和超高真空。分子泵內(nèi)部有一個高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子。支撐轉(zhuǎn)子平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)的軸承承載大量負荷。正確使用和及時維護對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常運行具有重要意義。專業(yè)分子泵維修廠家帕納光電帶大家了解一下分子泵使用時的注意事項。

盡量避免頻繁啟停：

當分子泵以均勻的速度工作時，轉(zhuǎn)子葉片只受離心力的影響（真空阻力很小，可以忽略不計），即遠離軸向的拉力；在加速和減速過程中，葉片也受到旋轉(zhuǎn)切線方向的力，這相當于彎曲葉片的力。顯然，彎曲葉片對其疲勞壽命的貢獻更大。

此外，分子泵加速時功率大，內(nèi)部發(fā)熱嚴重，頻繁啟停(兩次啟動間隔30分鐘)會導致熱量積聚，導致分子泵內(nèi)部溫度過高，加劇軸承磨損。

根據(jù)工藝條件選擇合適的冷卻方式：

分子泵有三種冷卻方法:自然冷卻、強制風冷和水冷。300l/s下面的分子泵可以在沒有氣體負荷的情況下自然冷卻；當較大的分子泵或有一定的氣體負荷時，需要選擇強制風冷（風扇冷卻）；對于一些負載較大的應用程序（例如CVD），或者不方便使用風機的環(huán)境(如輻射環(huán)境)，需要采用水冷。

無論采用何種冷卻方式，分子泵的環(huán)境溫度應保持在5~在35攝氏度之間，采用處理后的軟水進行水冷，冷卻水的溫度和流量也要符合說明書的要求。

空檔滑行不可?。?/span>

當分子泵工作時，轉(zhuǎn)速非常高（數(shù)萬轉(zhuǎn)/分鐘）。在加速和減速過程中，不可避免地要經(jīng)過一些危險的共振頻率。在這些共振頻率下長時間運行會增加軸承負載，從而增加分子泵故障的風險。當真空下自然停止泵（空檔滑動）時，由于真空下的空氣阻力很小，分子泵轉(zhuǎn)子需要幾十分鐘甚至幾個小時才能完全停止，其中共振頻率運行時間相對較長。

一般建議在分子泵停機時，手動或通過專用充氣閥（VentValve），通過充氣口填充空氣/氮氣，增加轉(zhuǎn)子阻力，使其快速停止；手動充氣時，注意控制充氣速度，使停機時間等于分子泵的啟動時間（根據(jù)泵的大小，一般為3）~10分鐘）。

大多數(shù)型號的分子泵也具有電磁制動功能（ActiveStop），可以在不破空的情況下快速停機。