分子泵類型和型號(hào)是多樣的

由于渦輪分子泵的類型和型號(hào)多樣，每個(gè)泵的運(yùn)行模式由制造商提供，渦輪分子泵的操作簡(jiǎn)單，廉價(jià)的方法是同時(shí)啟動(dòng)渦輪分子泵和前泵，當(dāng)渦輪分子泵加速到正常速度時(shí)，也提前系統(tǒng)，在初始高壓強(qiáng)度泵階段，油蒸汽回流是不可能的。由于系統(tǒng)中的氣體處于粘性或?qū)恿鳡顟B(tài)，因此排放氣體的密度可以阻止任何碳?xì)浠衔锏姆肿臃祷氐綔u輪分子泵。當(dāng)達(dá)到分子流狀態(tài)時(shí)，渦輪分子泵已進(jìn)入正常運(yùn)行速度，在泵高壓縮比下運(yùn)行時(shí)，可以防止油蒸汽的回流。

渦輪分子泵的前級(jí)泵由一個(gè)電動(dòng)開關(guān)控制，兩個(gè)泵可以同時(shí)啟動(dòng)和停止。

在一些快速循環(huán)系統(tǒng)中，由于時(shí)間短，沒有足夠的時(shí)間使渦輪分子泵在每個(gè)循環(huán)中達(dá)到正常運(yùn)行速度。在這種情況下，渦輪分子泵不能根據(jù)工作周期定期打開。此時(shí)，渦輪分子泵必須連續(xù)運(yùn)行。前泵粗抽真空室可快速達(dá)到渦輪分子泵的啟動(dòng)壓力，主閥可快速打開。渦輪分子泵可以在相對(duì)較高的壓力下工作（節(jié)省時(shí)間），也可以減少粗抽管的回流。

如果系統(tǒng)需要粗抽管，如果操作不當(dāng)，可能會(huì)出現(xiàn)回流問題。如果系統(tǒng)的粗抽壓力過低，粗抽管內(nèi)會(huì)出現(xiàn)分子流態(tài)。然后粗泵的油蒸汽可能會(huì)返回真空室。當(dāng)壓力小于100~200時(shí)μmHg（13.33～26.66Pa）這種回流就會(huì)出現(xiàn)。

當(dāng)真空室粗泵合適時(shí)，關(guān)閉粗泵閥，粗泵繼續(xù)運(yùn)行時(shí)，粗泵管中的壓力降低，出現(xiàn)分子流狀態(tài)。碳?xì)浠衔飼?huì)回流并凝結(jié)在粗泵閥蓋或閥門密封處。當(dāng)粗泵閥再次打開時(shí)，這些冷凝器可能會(huì)離開閥蓋或密封件，流回真空室的一側(cè)。這些油蒸汽將在下一個(gè)高真空循環(huán)中遷移到真空室并受到污染。

為了解決粗泵引起的回流問題，主要是為了避免前管道中的分子流態(tài)，防止油蒸汽回流。當(dāng)前管道達(dá)到前壓力時(shí)，關(guān)閉粗泵閥（用充氣閥和可控漏孔），然后關(guān)閉粗泵泵。因此，然后關(guān)閉粗泵泵。因此，在粗泵管道中不可能出現(xiàn)分子流態(tài)，以防止回流。

使用渦輪分子泵時(shí)，通常不需要粗抽管。例如，在快速循環(huán)系統(tǒng)中，可以選擇那些耐大氣沖擊的渦輪分子泵，而不需要粗抽管。真空室可以在大氣壓下直接抽真空。