STP-301C分子泵的工作原理及應(yīng)用

渦輪分子泵是一種真空泵，它利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)態(tài)葉輪將動(dòng)量傳遞給氣體分子，從而產(chǎn)生氣體的定向流動(dòng)。

渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)速度快，能抵抗各種射線照射，抗大氣沖擊，無氣體儲(chǔ)存和解吸效應(yīng)，無油蒸汽污染或污染少，可獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛應(yīng)用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器和真空涂層。

一、渦輪分子泵的工作原理

為了使用渦輪分子泵獲得清潔真空，國外使用干式機(jī)械泵作為前級(jí)泵，形成無油真空系統(tǒng)。然而，目前國內(nèi)渦輪分子泵以油封機(jī)械泵為前級(jí)泵，形成油真空系統(tǒng)。如果操作不當(dāng)，很難避免油蒸汽回流和污染真空系統(tǒng)。國內(nèi)外都有一些有效的防止回流的措施和成功的操作經(jīng)驗(yàn)。

二、渦輪分子泵的應(yīng)用

在今天的現(xiàn)代半導(dǎo)體工業(yè)中，渦輪分子泵的應(yīng)用越來越多。如濺射、蝕刻、蒸發(fā)、注入、分子束延伸、離子處理等設(shè)備需要在真空環(huán)境中運(yùn)行。另一個(gè)例子是電子顯微鏡、表面分析儀器、殘余氣體分析儀器和氦質(zhì)譜檢漏儀也經(jīng)常使用渦輪分子泵進(jìn)行真空。此外，大型渦輪分子泵或低溫泵也被用于宇宙模擬設(shè)備、核聚變裝置和太陽能集熱管涂層生產(chǎn)線，以防止油和蒸汽的污染。因此，近十年來，渦輪分子泵在國內(nèi)外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應(yīng)用中，干式前泵尚未得到廣泛應(yīng)用，有時(shí)必須使用油封機(jī)械泵作為渦輪分子泵的前泵。因此，鑒于這種情況，合理選擇和正確操作渦輪分子泵是非常重要的。