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分子泵是一種真空泵，它利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將動量傳遞到氣體分子，以獲得方向速度，從而將其壓縮并驅(qū)動到上層排氣口。
維護分子泵的操作要求：
1.分子泵氣體回路接口的快速連接法蘭螺釘應(yīng)向上，防止空氣泄漏造成松弛；
2.分子泵不能在大氣中打開，必須達到10Pa時間打開。打開相應(yīng)的高壓閥，啟動分子泵；
3.當M2（方框2）或M如果真空度不到位，請檢查旋片泵的電磁閥是否工作正常；
4.打開分子泵前，必須先打開冷卻水閥。冷卻水閥必須在分子泵葉輪停止后關(guān)閉；
5.每次停機后，必須對每個分子泵的入口進行清潔，以保持其清潔，避免不必要的損壞；
6.警告信息出現(xiàn)時“EF”檢查冷卻水通道是否暢通，并用機槍檢查。在再次打開分子泵之前，請確保水道暢通。當出現(xiàn)其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
7.當分子泵出現(xiàn)故障無法使用時，應(yīng)暫停生產(chǎn)，備用分子泵在手動充滿空氣后更換；
8.檢查前級泵和電磁閥在分子泵未啟動時是否正常工作；
9.當分子泵發(fā)生故障時，必須按照故障提示進行處理。
該分子泵的維護可分為：
1）牽引分子泵氣體分子與高速運動轉(zhuǎn)子碰撞，獲得動量，并驅(qū)動到泵出口。
2)渦輪分子泵通過高速旋轉(zhuǎn)葉片和固定固定葉片提取。這種泵通常以分子流動的狀態(tài)運行。
3)復(fù)合分子泵是一種由兩個渦輪泵和牽引泵串聯(lián)組成的復(fù)合分子真空泵。
