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EDWARDS分子泵是一種高真空和超高真空機(jī)械真空泵，分為三類:渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵。分子泵主要用于為太陽(yáng)能電池和半導(dǎo)體的制造提供*的真空環(huán)境。分子泵具有世界上高水平的排氣能力，并且有一系列產(chǎn)品可以滿足不同的太陽(yáng)能電池模塊和硅片的工藝要求。隨著市場(chǎng)的擴(kuò)大，我們的發(fā)展步伐從未停止。
EDWARDS分子泵的操作技巧：
1、分子泵氣路接口的快接法蘭螺桿應(yīng)朝上，以免松弛造成漏氣；
2、在大氣中無法打開分子泵，必須在達(dá)到10Pa時(shí)才能打開相應(yīng)的高閥，打開分子泵；
3、如果M2(箱體2)或M7的真空度始終不到位，則應(yīng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作；
4、冷卻水閥必須在打開分子泵之前打開；分子泵葉輪停止運(yùn)轉(zhuǎn)后，必須關(guān)閉冷卻水閥；
5、每停機(jī)后，一定要清洗各分子泵的進(jìn)氣口，使其保持清潔，避免不必要的損壞；
6、“當(dāng)報(bào)警信息出現(xiàn)”EF“當(dāng)時(shí)要檢查冷卻水路是否通暢，可以用槍檢查。分子泵只有在水路暢通后才能再次打開。當(dāng)其他報(bào)警信號(hào)出現(xiàn)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵，待后處理；
7、當(dāng)分子泵出現(xiàn)問題而無法使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，手動(dòng)充氣后，更換備用分子泵；
8、在始終達(dá)不到分子泵啟動(dòng)條件的情況下，應(yīng)檢查前級(jí)泵和電磁閥是否正常工作；
9、如果分子泵出現(xiàn)故障，應(yīng)根據(jù)故障提示進(jìn)行相應(yīng)的處理。
